フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。シリコンは最もよく使用されている半導(dǎo)體です。フォトルミネッセンス法は品質(zhì)管理に応用すぺく長(zhǎng)年研究が行われてきました。1977年電子技術(shù)総合研究所の田島博士(現(xiàn)在：宇宙科學(xué)研究所)はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で評(píng)価する方法を開発されました。この方法によりシリコン中のB,P,Al,As 不純物がpptaオ一ダーで解析出來(lái)るようになりました。PL法によるシリコン中の不純物定量分析は、現(xiàn)在ではASTMとJISに登録されています。