可見(jiàn)光譜橢偏儀Smart SE
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- 可見(jiàn)光譜橢偏儀Smart SE
- HORIBA堀場(chǎng)
- Smart SE
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- 電議
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概要
- プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範(fàn)囲の単層膜から多層膜までのサンプル測(cè)定が可能です。
- 波長(zhǎng)450nm-1000nmをカバーしたデータ採(cǎi)取により、薄膜の膜厚、光學(xué)定數(shù)（屈折率、消衰係數(shù)）などの物質(zhì)特性を精度良く測(cè)定します。
- 誘電體や有機(jī)薄膜など様々な材料の測(cè)定が可能です。
- イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面狀態(tài)や測(cè)定スポットの厳密な位置確認(rèn)が可能です。
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仕様
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測(cè)定方式 |
液晶変調(diào)方式 |
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光源 |
ハロゲンランプおよび青色LED |
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波長(zhǎng)範(fàn)囲 |
450nm-1000nm |
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分光器 |
迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ（分解能：3nm以下） |
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検出器 |
高感度?高安定リニアＣＣＤ（2048ピクセル） |
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入射角度 |
70度固定 （45度-90度の範(fàn)囲より5度刻みで変更可） |
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スポットサイズ（70度入射時(shí)） |
75μm X 150μm, 100μm X 250μm, 100μm X 500μm,150μm X 150μm, 250μm X 250μm, 250μm X 500μm,500μm X 500μm ※いずれも長(zhǎng)方形 |
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サンプルステージ |
直徑200mmまでのサンプルに対応 |
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サンプル観察系 |
イメージングシステム MyAutoViewTM
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操作PC |
デスクトップPC、TFTモニタ |
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ソフトウェア |
分光エリプソメータ測(cè)定およびデータ解析用DeltaPsi2 |
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裝置寸法（操作PC除く） |
裝置本體：W840mm×D230mm×H340mm@70度入射 |
オプション
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電動(dòng)ゴニオメータ |
入射角度の電動(dòng)可変（可変範(fàn)囲：45度-90度） |
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電動(dòng)X-Yステージ |
200mmウェハ、もしくは 300mmウェハ対応 |
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In-Situ測(cè)定用アダプタ |
プロセスチャンバー取付用フランジ |
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アクセサリ |
溫度可変測(cè)定用ステージ、溶液測(cè)定用セル |
必要ユーティリティ
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電源 |
AC100V±5%未満?。?biāo)準(zhǔn)消費(fèi)電力：200W） |
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